继获评高新技术产品之后,近日,在2017中国半导体市场年会暨第六届集成电路产业创新大会上,苏净集团自主研发的液体颗粒计数器斩获“第十一届(2016年度)中国半导体创新产品和技术”殊荣。
随着半导体产业的蓬勃发展,微电子级纯水或超纯水成为半导体行业生产过程中不可或缺的主要原材料,如果水质不纯,会导致器件性能下降,影响产品性能。微粒污染是评价超纯水质量的核心指标之一,在生产过程中需要对超纯水中的微颗粒大小和数量进行严格控制。
苏净集团设计研发的基于光散射法的液体颗粒计数器,其最小检测粒径达0.5μm,可广泛应用于半导体行业生产用水检测,纯水过滤器滤除效率检测,以及高纯化学试剂检测等领域。
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